特許
J-GLOBAL ID：200903016890381234
ノッチ整列装置およびその調整治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-253804
公開番号（公開出願番号）：特開平10-079415
出願日： 1996年09月04日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：
【要約】【課題】 ノッチ整列動作時の回転性および位置決め性を改善し、ノッチ合せの確実化が図れるノッチ整列装置を提供する。【解決手段】 周縁部にノッチ2を有する複数枚の被処理基板1を容器3内に収納した状態で、上記被処理基板1の周縁部に下方から接して回転駆動する駆動軸25と、この駆動軸25の一側方に設けられ、各被処理基板1の周縁部をアイドラ26を介して回転可能に支持するアイドラ軸27と、上記駆動軸25の他側方に設けられ、上記ノッチ2が上記駆動軸25に係合したときに当該被処理基板1の周縁部を支持する支持部28とを備え、上記アイドラ軸27を上記駆動軸25と連動させて回転駆動するようにした。
請求項（抜粋）：
周縁部にノッチを有する複数枚の被処理基板を容器内に収納した状態で、上記被処理基板の周縁部に下方から接して回転駆動する駆動軸と、この駆動軸の一側方に設けられ、各被処理基板の周縁部をアイドラを介して回転可能に支持するアイドラ軸と、上記駆動軸の他側方に設けられ、上記ノッチが上記駆動軸に係合したときに傾く被処理基板の周縁部を支持する支持部とを有するノッチ整列ユニットを備え、上記駆動軸の径を細く形成すると共に、上記アイドラ軸を上記駆動軸と連動させて回転駆動するようにしたことを特徴とするノッチ整列装置。
引用特許：
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