特許
J-GLOBAL ID：200903016926133216
チップ用保護膜形成用シート
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
飯田 敏三
, 佐々木 渉
, 宮前 尚祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-351294
公開番号（公開出願番号）：特開2007-158026
出願日： 2005年12月05日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】均一性の高い保護膜を、チップ裏面に簡便に形成でき、しかも機械研削によってチップ裏面に微小な傷が形成されたとしても、かかる傷に起因する悪影響を解消できるチップ用保護膜形成用シートを提供する。【解決手段】剥離シート(1)と、該剥離シート(1)上に形成された硬化性保護膜形成層(2)とを有するチップ用保護膜形成用シート(10)であって、硬化性保護膜形成層(2)の破断強度が1MPa以上であり、剥離シート(1)側の硬化性保護膜形成層の表層(21)が他方の表層(22)より硬化しているチップ用保護膜形成用シート(10)。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
剥離シートと、該剥離シート上に形成された硬化性保護膜形成層とを有するチップ用保護膜形成用シートであって、硬化性保護膜形成層の破断強度が1MPa以上であり、剥離シート側の硬化性保護膜形成層の表層が他方の表層より硬化していることを特徴とするチップ用保護膜形成用シート。
IPC (4件)：
H01L 21/683
, B32B 7/06
, C09J 7/00
, C09J 4/00
H01L21/68 N
, B32B7/06
, C09J7/00
, C09J4/00
4F100AK01A
, 4F100AK01B
, 4F100AK33
, 4F100AK42A
, 4F100AK53
, 4F100EJ42
, 4F100EJ52
, 4F100GB41
, 4F100JB12B
, 4F100JB14B
, 4F100JK01B
, 4F100JK12B
, 4F100JL14
, 4F100YY00B
, 4J004AA01
, 4J004AA10
, 4J004AA13
, 4J004AB05
, 4J004AB06
, 4J004BA02
, 4J004DB02
, 4J004EA06
, 4J004FA04
, 4J004FA05
, 4J040DF001
, 4J040DF002
, 4J040EB021
, 4J040EB022
, 4J040EB131
, 4J040EC001
, 4J040ED001
, 4J040EF001
, 4J040EH031
, 4J040FA131
, 4J040FA26
, 4J040FA27
, 4J040FA28
, 4J040FA29
, 4J040GA11
, 4J040HA136
, 4J040HA18
, 4J040HA306
, 4J040HC22
, 4J040HD33
, 4J040JA09
, 4J040JB02
, 4J040JB07
, 4J040KA16
, 4J040KA17
, 4J040KA26
, 4J040KA42
, 4J040LA06
, 4J040MB03
, 4J040NA20
, 4J040PA23
, 5F031CA13
, 5F031HA03
, 5F031HA78
, 5F031PA20
