特許

J-GLOBAL ID：200903016946845085

インプリント用スタンパ、インプリント用スタンパの製造方法、インプリント方法及びインプリント用スタンパの分解方法

発明者： 木原 尚子 ,  櫻井 正敏 ,  鎌田 芳幸 ,  内藤 勝之
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (7件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-100553
公開番号（公開出願番号）：特開2005-286222
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】 レジスト基板全面均一に高精度のインプリントを行うことが可能であり、且つ安価なインプリント用スタンパ、インプリント用スタンパの製造方法、インプリント方法及びインプリント用スタンパの分解方法を提供する。【解決手段】 保持基板10と、保持基板10上の輻射エネルギーにより剥離性を示す剥離膜20と、剥離膜20上にロックウェル硬度のスケールがM80以上であり、表面に凹凸パターンを有する転写部30とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

保持基板と、 前記保持基板上に設けられ輻射エネルギーにより剥離性を示す剥離膜と、 前記剥離膜上に設けられロックウェル硬度のスケールがM80以上であり、表面に凹凸パターンを有する転写部 とを備えることを特徴とするインプリント用スタンパ。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  B29C33/38 ,  G11B5/855

FI (3件)：

H01L21/30 502D ,  B29C33/38 ,  G11B5/855

Fターム (14件)：

4F202AH79 ,  4F202CA09 ,  4F202CB01 ,  4F202CD05 ,  4F202CD23 ,  4F202CK43 ,  5D112AA16 ,  5D112AA20 ,  5D112AA24 ,  5D112GA02 ,  5D112GA11 ,  5D112GA20 ,  5D112GB04 ,  5F046BA10

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 加工方法、磁気転写方法及び記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-358062   出願人：株式会社東芝
• ロール成形型
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-129637   出願人：株式会社クラレ
• 光硬化樹脂シートの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-314831   出願人：三菱化学株式会社
• 特開平4-089879
  
• 特開昭63-299910
  

審査官引用 (4件)

• ロール成形型
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-129637   出願人：株式会社クラレ
• 特開昭63-299910
  
• 光硬化樹脂シートの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-314831   出願人：三菱化学株式会社
• 特開平4-089879