特許
J-GLOBAL ID：200903016955425030
高周波製品の検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-073938
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270291
出願日： 2002年03月18日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：
【要約】【課題】高周波製品の検査装置において、同軸構造をなす先端部における寄生容量などの発生を抑制でき、RF信号による検査において測定される特性値にばらつきが大きく生じるのを抑制できるようにする。【解決手段】金属ブロック1と、該金属ブロック1に形成された貫通孔3に装着された絶縁チューブ6と、該絶縁チューブ6に挿入される信号用プローブ2とによって同軸構造を構成し、信号用プローブ2の一方端側に被検体7に対する接触部を設け、他方端側に測定系の信号線8と接続する接続部を設けている高周波製品の検査装置において、被検体7と接触するGND用プローブ4を、金属ブロック1における被検体7に臨む面側で、かつ、信号用プローブ2の側方箇所において、金属ブロック1に結合している。
請求項（抜粋）：
金属ブロックと、該金属ブロックに形成された貫通孔に装着された絶縁チューブと、該絶縁チューブに挿入される信号用プローブとによって同軸構造を構成し、前記信号用プローブの一方端側に被検体に対する接触部を設け、他方端側に測定系の信号線と電気的に接続する接続部を設けるとともに、前記被検体と接触するGND用プローブを前記金属ブロックに設けている高周波製品の検査装置において、前記金属ブロックにおける前記被検体に臨む面の近傍に、前記GND用プローブと金属ブロックとを接続する接続構造を設けていることを特徴とする高周波製品の検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 J
, G01R 1/06 E
2G003AA00
, 2G003AA07
, 2G003AG03
, 2G003AG05
, 2G003AG10
, 2G003AH04
, 2G003AH05
, 2G003AH07
, 2G011AB01
, 2G011AC14
, 2G011AC32
, 2G011AE00
, 2G011AF01
