特許
J-GLOBAL ID:200903016964848750

カーボンナノチューブ作製用触媒パターン

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池浦 敏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-135590
公開番号(公開出願番号):特開2002-285335
出願日: 2001年03月27日
公開日(公表日): 2002年10月03日
要約:
【要約】【課題】 含炭素材料を熱分解させてカーボンナノチューブを合成する際に用いられる触媒パターン。【解決手段】 基体表面に形成されたカーボンナノチューブ作製用触媒パターンであって、該触媒パターンは、基体上にあらかじめ形成された感光材料と触媒を含有する混合物からなるパターンから、該パターン中に含まれる該感光材料を除去することによって形成されたものであることを特徴とするカーボンナノチューブ作製用触媒パターン。
請求項(抜粋):
基体表面に形成されたカーボンナノチューブ作製用触媒パターンであって、該触媒パターンは、基体上にあらかじめ形成された感光材料と触媒を含有する混合物からなるパターンから、該パターン中に含まれる該感光材料を除去することによって形成されたものであることを特徴とするカーボンナノチューブ作製用触媒パターン。
IPC (2件):
C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101
FI (2件):
C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 F
Fターム (14件):
4G046CA02 ,  4G046CB03 ,  4G046CC05 ,  4G046CC06 ,  4G046CC08 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030BA27 ,  4K030BB14 ,  4K030CA04 ,  4K030DA02 ,  4K030FA10 ,  4K030FA17 ,  4K030LA11
引用特許:
審査官引用 (1件)

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