塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-261479
公開番号（公開出願番号）：特開2000-084457
出願日： 1998年09月16日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：

【要約】【課題】塗布装置の各構成要素の機械加工精度を超える水準で、塗膜厚みを基材ウエブ横断方向へ確実に均一化できる高性能の塗布装置を提供する。【解決手段】塗布装置は、バックアップロール14と、バックアップロール外周面10に対向するノズル端面16を有した塗布ヘッド18とを備える。塗布ヘッド18は、少なくともノズル端面16を含む第1部分32と、第1部分32に隣接する第2部分34とに構造的に分割され、それら第1部分32と第2部分34とが互いに一体的に結合される。第1部分32と第2部分34とは、互いに異なる線膨張係数を有する材料から作製される。したがって、塗布ヘッド18の温度を緻密に調節することにより、塗布ヘッド18の各構成要素の機械加工精度を超える水準の精密な塗膜厚み制御を再現性良く極めて容易に実施でき、以て塗膜厚みを基材ウエブ横断方向へ確実に均一化できる。

請求項（抜粋）：

所定速度で走行する基材ウエブを外周面上に担持して回転するバックアップロールと、該バックアップロールから離間して配置され、該バックアップロールの該外周面に対向するノズル端面及び該ノズル端面に通ずる塗料供給路を備えて、該ノズル端面上に塗料を連続的に押出供給する塗布ヘッドとを具備し、該バックアップロールの該外周面と該塗布ヘッドの該ノズル端面との間で塗料を計量しつつ、走行する基材ウエブの表面に所定厚みの塗膜を連続的に形成する塗布装置において、前記塗布ヘッドは、少なくとも前記ノズル端面を含む第1部分と、該第1部分に隣接する第2部分とを一体に備え、該第1部分と該第2部分とが互いに異なる線膨張係数を有する材料からなることを特徴とする塗布装置。

Fターム (5件)：

4F041AA12 , 4F041BA17 , 4F041CA02 , 4F041CA12 , 4F041CA23

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-074621
特開平3-074621
塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-290581 出願人：三菱マテリアル株式会社

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