特許
J-GLOBAL ID：200903017026673530

微細構造体の製造方法

発明者：
川口 泰秀

川口 泰秀 について

, 
角崎 健太郎

角崎 健太郎 について


出願人/特許権者：
旭硝子株式会社

旭硝子株式会社 について


代理人 (5件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  柳井 則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-356074
公開番号（公開出願番号）：特開2008-162190
出願日： 2006年12月28日
公開日（公表日）： 2008年07月17日
要約：
【課題】ゾルゲル法により硬化性物質を硬化して得られる、表面に微細構造が寸法精度よく形成された硬化物質を含む微細構造体を生産性よく製造できる製造方法を提供する。【解決手段】(a)表面に微細構造14に対応する反転構造が形成されかつその表面が含フッ素重合体を含むモールドの表面に、硬化性物質を含む溶液または硬化性物質からなる液体を供給して記モールドの表面に前記溶液または液体の層を形成する工程と、(b)前記含フッ素重合体の軟化温度未満で前記層が溶媒を含む場合は溶媒を除去し、硬化性物質が硬化前駆体となるまで硬化反応を進める工程と、(d)硬化前駆体の層を有するモールドから硬化前駆体の層を分離して硬化前駆体の成形体を得る工程と、(e)硬化前駆体を硬化させて、表面に微細構造14が形成された硬化物質16を含む微細構造体10を得る工程とを有する微細構造体10の製造方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ゾルゲル法により硬化性物質を硬化して得られる、表面に微細構造が形成された硬化物質を含む微細構造体の製造方法であって、 (a)表面に前記微細構造に対応する反転構造が形成され、かつその表面が含フッ素重合体を含む、モールドの該表面に、前記硬化性物質を含む溶液または前記硬化性物質からなる液体を供給して、前記モールドの表面に前記溶液または液体の層を形成する工程と、 (b)前記含フッ素重合体の軟化温度未満で、前記層が溶媒を含む場合は溶媒を除去し、前記硬化性物質が硬化前駆体となるまで硬化反応を進める工程と、 (d)前記硬化前駆体の層を有するモールドから該硬化前駆体の層を分離して該硬化前駆体の成形体を得る工程と、 (e)前記硬化前駆体を硬化させて硬化物質を含む微細構造体を得る工程と を有する、微細構造体の製造方法。
IPC (7件)：
B29C 39/02 ,  B82B 3/00 ,  B82B 1/00 ,  B81C 5/00 ,  B29C 39/10 ,  B29C 39/12 ,  B29C 39/26
FI (7件)：
B29C39/02 ,  B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  B81C5/00 ,  B29C39/10 ,  B29C39/12 ,  B29C39/26
Fターム (22件)：
4F202AA36 ,  4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA01 ,  4F202CB01 ,  4F202CK13 ,  4F204AA16 ,  4F204AC05 ,  4F204AF01 ,  4F204AG05 ,  4F204AH73 ,  4F204AR06 ,  4F204EA03 ,  4F204EA04 ,  4F204EB01 ,  4F204EB11 ,  4F204EB29 ,  4F204EF01 ,  4F204EF27 ,  4F204EF49 ,  4F204EK24
引用特許：
出願人引用 (1件)

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