固体撮像素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-238680
公開番号（公開出願番号）：特開2002-057319
出願日： 2000年08月07日
公開日（公表日）： 2002年02月22日
要約：

【要約】【課題】隣接画素間の素子分離領域を基体深部まで形成可能にして、高感度で且つ高密度画素、あるいは超小型化のCCD固体撮像素子を提供する。【解決手段】固体撮像素子において、隣接する画素、特に垂直方向に隣接する受光センサ部12間がトレンチ構造による素子分離領域25で分離されて成る。

請求項（抜粋）：

トレンチ構造による素子分離領域で隣接する画素間が分離されて成ることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/148 , H01L 21/76 , H04N 5/335

FI (3件)：

H04N 5/335 U , H01L 27/14 B , H01L 21/76 L

Fターム (26件)：

4M118AA01 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA08 , 4M118BA10 , 4M118CA03 , 4M118DA03 , 4M118EA20 , 4M118FA06 , 4M118FA13 , 4M118FA27 , 4M118FA28 , 4M118FA35 , 5C024AX01 , 5C024CX37 , 5C024CX41 , 5C024CY47 , 5C024GX03 , 5C024GY05 , 5C024GY06 , 5F032AA44 , 5F032AB01 , 5F032AC01 , 5F032CA14 , 5F032CA21 , 5F032DA22

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平4-011774
特開昭63-312669
特開平4-011774

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