特許

J-GLOBAL ID：200903017138913088

音叉型水晶振動子、角速度センサ素子、角速度センサ及び音叉型水晶振動子の製造方法。

発明者： 松戸 秀亮 ,  片瀬 順
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-333033
公開番号（公開出願番号）：特開2005-098841
出願日： 2003年09月25日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【目的】本発明はCI及び駆動電力に対する耐破壊強度、CI安定性及び周波数安定性等の電気的性能を向上した音叉型振動子、角速度センサ素子及び角速度センサを提供する。【構成】音叉形状の外形加工がウエットエッチングによってされ、音叉の長手方向を結晶軸(XYZ)のY軸として幅方向をX軸とした音叉状水晶片の2枚が、X軸の±方向を逆向きとして直接接合された音叉型水晶振動子において、前記音叉状水晶片の2枚を正立状態で見たとき、前記音叉状水晶片の2枚は、いずれも、右側面が水晶の+X面である構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

音叉形状の外形加工がウエットエッチングによってされ、音叉の長手方向を結晶軸(XYZ)のY軸として幅方向をX軸とした音叉状水晶片の2枚が、X軸の±方向を逆向きとして直接接合された音叉型水晶振動子において、前記音叉状水晶片の2枚を正立状態で見たとき、前記音叉状水晶片の2枚は、いずれも、右側面が水晶の+X面であることを特徴とする音叉型水晶振動子。

IPC (5件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22

FI (5件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z

Fターム (7件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB04 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 直接接合による水晶素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-303626   出願人：日本電波工業株式会社
• 水晶振動子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-201891   出願人：日本電波工業株式会社
• 音叉型の角速度センサ素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-387046   出願人：日本電波工業株式会社
• 水晶振動子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-203045   出願人：日本電波工業株式会社