加熱冷却装置及び電気特性評価装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-064912
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258491
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】試料を低温から高温まで連続的に変化させる。【解決手段】試料7を加熱するヒータ3と、試料7の冷却を行う冷媒を流す冷媒配管2とこの冷媒配管2を流れる冷媒の流量を制御する冷媒制御手段とを備え、ヒータ3と一体的に形成された冷却部1とからなる。ヒータは線状のヒータ線から構成され、ヒータ線と冷媒配管は同一平面上に配置され、真空容器内に設置されている。上記の加熱冷却装置と試料表面を接触させて、試料に電流又は電圧を供給し、試料の電気特性の測定を行うプローブを具備し、このプローブは真空用同軸型プローブである。

請求項（抜粋）：

試料を加熱するヒータと、前記試料の冷却を行う冷媒を流す冷媒配管とこの冷媒配管を流れる冷媒の流量を制御する冷媒制御手段とを備え、前記ヒータと一体的に形成された冷却機構とを具備してなることを特徴とする加熱冷却装置。

IPC (6件)：

G01R 31/26 , B01J 19/00 301 , F25D 9/00 , G01R 1/06 , G01R 31/28 , H01L 21/66

FI (6件)：

G01R 31/26 H , B01J 19/00 301 C , F25D 9/00 B , G01R 1/06 E , H01L 21/66 L , G01R 31/28 K

Fターム (57件)：

2G003AA00 , 2G003AB01 , 2G003AB07 , 2G003AC03 , 2G003AC04 , 2G003AD01 , 2G003AD03 , 2G003AG03 , 2G003AH05 , 2G011AA02 , 2G011AA22 , 2G011AB06 , 2G011AB10 , 2G011AC06 , 2G011AE01 , 2G011AF07 , 2G032AA00 , 2G032AB01 , 2G032AB13 , 2G032AD01 , 2G032AE14 , 2G032AF01 , 2G032AK05 , 2G032AL00 , 3L044AA04 , 3L044BA06 , 3L044CA14 , 3L044DB02 , 3L044FA04 , 3L044FA10 , 3L044KA04 , 3L044KA05 , 4G075AA22 , 4G075AA63 , 4G075CA02 , 4G075CA03 , 4G075CA12 , 4G075CA65 , 4G075DA01 , 4G075EA05 , 4G075EB01 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106AA04 , 4M106BA01 , 4M106BA14 , 4M106CA31 , 4M106CA60 , 4M106CA62 , 4M106DD01 , 4M106DD23 , 4M106DH02 , 4M106DH14 , 4M106DH44 , 4M106DH45 , 4M106DH46 , 4M106DJ01

引用特許：

審査官引用 (6件)

プローブカード
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-232503 出願人：東京エレクトロン株式会社
恒温ユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-287634 出願人：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社
特開昭63-260146

全件表示

前のページに戻る