特許

J-GLOBAL ID：200903017191630500

光学式形状測定装置

発明者： 米田 康司 ,  森本 勉 ,  高橋 英二 ,  綱木 英俊
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所 ,  ジェネシス・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 明田 莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-184489
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005640
出願日： 2000年06月20日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】 厚さの薄い平板状の被検体、特にウェーハを対象として高精度に平坦度、厚さなどの形状を測定し得る光学式形状測定装置を提供する。【解決手段】 エッジ部を介して略鉛直に保持されたウェーハ1の主面1a側及び裏面1b側に対向配置された2つの基準平面基板15,25を備える光学測定手段10,20と、前記基準平面基板15,25とウェーハ1との間に、ウェーハ1と平行間隙を形成し且つウェーハに近接して配置された透明な剛体平板19,29を備えてなる。

請求項（抜粋）：

エッジ部を介して略鉛直に保持された厚さの薄い平板状の被検体の光学式形状測定装置であって、被検体と平行間隙を形成する剛体平板が被検体に近接して配置されてなることを特徴とする光学式形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/30 101 ,  G01B 11/06

FI (2件)：

G01B 11/30 101 A ,  G01B 11/06 G

Fターム (14件)：

2F065BB01 ,  2F065BB03 ,  2F065BB22 ,  2F065BB25 ,  2F065CC03 ,  2F065CC19 ,  2F065CC21 ,  2F065DD14 ,  2F065FF52 ,  2F065FF61 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ23

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ウェーハの光学式形状測定器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-056487   出願人：株式会社スーパーシリコン研究所, 黒田精工株式会社