特許
J-GLOBAL ID：200903017238670123

保護装置、モータ装置、ステージ装置、および露光装置

発明者：
島村 尚孝

島村 尚孝 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-109910
公開番号（公開出願番号）：特開2005-295738
出願日： 2004年04月02日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】 本発明は、負荷装置の温度上昇を的確に推定して、過負荷状態を判断できる保護装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、負荷装置を保護するための保護装置であって、次の熱推定部、温度推移模擬部、および保護部を備える。熱推定部は、負荷装置への供給電流に基づいて負荷装置に発生する熱を推定する。温度推移模擬部は、熱推定部により推定される熱と、予め定められる負荷装置の熱回路モデルに基づいて、負荷装置の温度の推移をシミュレーションする。保護部は、温度推移模擬部により推定される温度に応じて、負荷装置への供給電流を制限する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
負荷装置を保護するための保護装置であって、 前記負荷装置への供給電流に基づいて前記負荷装置に発生する熱を推定する熱推定部と、 前記熱推定部により推定される熱と、予め定められる前記負荷装置の熱回路モデルとに基づいて、前記負荷装置の温度の推移をシミュレーションする温度推移模擬部と、 前記温度推移模擬部により推定される温度に応じて、前記負荷装置への前記供給電流を制限する保護部と を備えたことを特徴とする保護装置。
IPC (3件)：
H02H7/085 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (3件)：
H02H7/085 E ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 503A
Fターム (11件)：
2H097BA03 ,  5F046CC20 ,  5F046DA26 ,  5F046DA30 ,  5G044AA01 ,  5G044AC05 ,  5G044AD01 ,  5G044AE01 ,  5G044CA11 ,  5G044CC01 ,  5G044CE07
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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