特許
J-GLOBAL ID:200903017250678407
ポジ型感光性樹脂組成物の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-290481
公開番号(公開出願番号):特開2000-119520
出願日: 1998年10月13日
公開日(公表日): 2000年04月25日
要約:
【要約】【課題】アルカリ現像液に対する溶解速度を簡便に調節することが可能なポジ型感光性樹脂組成物の製造方法を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性ポリマーとo-キノンジアジド化合物からなるポジ型感光性樹脂組成物において、下記一般式(1)で表されるアルカリ可溶性ポリマーを下記一般式(2)または一般式(3)のいずれかで表される、少なくとも一種類以上の化合物で処理することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物の製造方法。。【化1】【化2】【化3】
請求項(抜粋):
アルカリ可溶性ポリマーとo-キノンジアジド化合物からなるポジ型感光性樹脂組成物の製造方法にであって、下記一般式(1)で表されるアルカリ可溶性ポリマーを下記一般式(2)または一般式(3)のいずれかで表される、少なくとも一種類以上の化合物で処理することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物の製造方法。【化1】(一般式(1)中、R1は炭素数2以上の3または4価の有機基を示し、R2は炭素数2以上の2価の有機基を示し、R3は水素原子または炭素数1以上の1価の有機基を示す。mは1または2の整数を示し、nは3から1000の整数を示す。)【化2】(一般式(2)中、R4は水素原子または炭素数1以上の1価の有機基を示し、R5は水素原子または炭素数1以上の1価の有機基、含窒素有機基、含酸素有機基のいずれかを示し、R6は炭素数1以上の1価の有機基を示す。)【化3】(一般式(3)中、R7は炭素数1以上の2価の有機基、含窒素有機基、含酸素有機基のいずれかを示し、R8は炭素数1以上の1価の有機基を示す。)
IPC (6件):
C08L 79/08
, C08G 73/10
, C08K 5/28
, G03F 7/022
, G03F 7/037 501
, H01L 21/027
FI (6件):
C08L 79/08 A
, C08G 73/10
, C08K 5/28
, G03F 7/022
, G03F 7/037 501
, H01L 21/30 502 R
Fターム (14件):
2H025AA01
, 2H025AA04
, 2H025AA10
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB25
, 2H025CB52
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J043ZB22
引用特許:
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