特許
J-GLOBAL ID：200903017258828831

成膜方法及び装置

発明者：
和田 優一

和田 優一 について

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鎗田 弘行

鎗田 弘行 について

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相田 恒

相田 恒 について

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吉田 尚美

吉田 尚美 について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-308661
公開番号（公開出願番号）：特開2000-138185
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】 有機金属含有液体の使用効率が高く、かつ、被処理体へ的確に有機金属含有液体を塗布できる成膜方法および成膜装置を提供すること。【解決手段】 熱分解反応により成膜材料を析出する有機金属を主成分とした有機金属含有液体を供給する供給手段28と、供給手段から供給された有機金属含有液体を被処理体W上に塗布する塗布手段126と、塗布手段により有機金属含有液体が塗布された被処理体を所定温度に加熱する加熱手段52と、を備える成膜装置であって、塗布手段126は、有機金属含有液体を含有可能であるとともに被処理体に対して接離可能な塗布液含有体100を具備することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
熱分解反応により成膜材料を析出する有機金属を主成分とした有機金属含有液体を用意する第1ステップと、前記有機金属の未反応領域の温度において、被処理体上に有機金属含有液体を塗布する第2ステップと、前記第2ステップの後、前記被処理体を所定温度に加熱し、前記被処理体上に塗布された前記有機金属含有液体中の前記有機金属を熱分解反応させ膜を前記被処理体上に形成する第3ステップと、を含む成膜方法であって、前記第2ステップにおける前記有機金属含有液体の前記被処理体への塗布は、前記有機金属含有液体を含んだ塗布液含有体を前記被処理体に接触させることにより行われることを特徴とする成膜方法。
IPC (8件)：
H01L 21/288 ,  B05C 1/02 102 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/28 ,  B05D 1/32 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/3205 ,  B05C 11/08
FI (8件)：
H01L 21/288 M ,  B05C 1/02 102 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/28 ,  B05D 1/32 E ,  H01L 21/31 A ,  B05C 11/08 ,  H01L 21/88 M
Fターム (42件)：
4D075AC22 ,  4D075AC64 ,  4D075AC84 ,  4D075AD11 ,  4D075DC22 ,  4F040AA12 ,  4F040AC01 ,  4F040CB02 ,  4F040CB23 ,  4F040CB40 ,  4F040DA13 ,  4F042AA07 ,  4F042BA02 ,  4F042BA11 ,  4F042BA19 ,  4F042BA21 ,  4F042CB19 ,  4F042CB27 ,  4F042DG09 ,  4F042EB09 ,  4F042EB16 ,  4F042EB17 ,  4F042EB18 ,  4F042EB21 ,  4F042EB27 ,  4F042EB30 ,  4F042ED05 ,  4M104BB04 ,  4M104DD51 ,  4M104DD80 ,  4M104HH20 ,  5F033HH11 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ82 ,  5F033QQ98 ,  5F033XX34 ,  5F045BB02 ,  5F045EB20 ,  5F045EK12 ,  5F045EM04 ,  5F045EM10
引用特許：
審査官引用 (4件)
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