記録装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-168515
公開番号（公開出願番号）：特開平8-025741
出願日： 1994年07月21日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：

【要約】【目的】キャリッジ位置の検出手段として磁気スケール部と磁気ヘッドからなる磁気式リニアエンコーダを有した記録装置において、磁気ヘッドから高い出力が得られるとともに、磁気ヘッドの耐食性、耐久性を向上できるようにする。【構成】磁気ヘッドは、磁気スケール部に近接して平行に対向する基板13と、その表面に成膜されたパーマロイ膜17に形成された複数本並ぶ線状のMR素子パターンからなるMR素子と、それを覆うアモルファスSiNx膜15aと、この膜15aの成膜時のパーマロイ膜17との反応を防止する中間絶縁膜20と、基板13を支持して磁気スケール部に対し摺動可能なスライダとを有し、SiNx膜15aの硬さは、磁気スケール部の硬さ、及びスライダの磁気スケール部を摺動可能に嵌合する滑り軸受部の硬さより硬い。

請求項（抜粋）：

記録ヘッドを搭載したキャリッジを移動させて記録を行なう記録装置であって、前記キャリッジの位置を検出する手段として、前記キャリッジの移動路に平行に固定され、長さ方向に沿って所定ピッチで交互に逆極性に着磁した一直線状の磁気スケール部と、前記キャリッジに固定され、前記磁気スケール部の磁界を検知する磁気ヘッドとからなる磁気式リニアエンコーダを備えた記録装置において、前記磁気ヘッドは、表面が前記磁気スケール部に近接して平行に対向するように配置され少なくとも表面が絶縁体からなる基板と、この基板の表面に、前記磁気スケール部の長さ方向に沿って磁気スケール部の着磁のピッチに対応したピッチで複数本並んで形成された強磁性体薄膜からなる線状の磁気抵抗効果素子パターンからなる磁気抵抗効果素子と、この磁気抵抗効果素子を覆うように前記基板の表面上に成膜されたアモルファス窒素化合物絶縁体からなる保護膜と、前記磁気スケール部を摺動可能に嵌合する滑り軸受部を有し、前記基板を支持して前記磁気スケール部に対し摺動可能なスライダとを有し、前記保護膜の硬さは、前記磁気スケール部及び前記スライダの滑り軸受部より硬いことを特徴とする記録装置。

IPC (3件)：

B41J 19/18 , G01D 5/245 , G01D 5/245 101

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-001339
特開平4-360021
特開昭61-257475

全件表示

前のページに戻る