特許
J-GLOBAL ID：200903017312190210

インクジェットヘッド

発明者：
小枝 周史

小枝 周史 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-077651
公開番号（公開出願番号）：特開平9-267472
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】【解決手段】 キャビティ基板100に、キャビティ101とリザーバ102を形成し、振動板103をキャビティ基板100の下面にボロンを高濃度で拡散しエッチングストップを行うことにより精度良く形成する。キャビティ基板100の上面に、ノズル201とオリフィス202を形成したノズル基板200を接着する。キャビティ基板100の下面には、エアギャップ301と個別電極302が設けられたガラス製の電極基板300を陽極接合する。エアギャップ301は、電極基板300を二回に分けてエッチングすることにより、深さ3000オングストロームの大ギャップ301aと深さ2500オングストロームの小ギャップ301bを100ミクロンピッチで長手方向に交互に並べる。【効果】 キャビティションの発生を防止でき、印字品質に優れたインクジェットヘッドが製造できる。
請求項（抜粋）：
複数のノズル孔と、ノズル孔の各々に連通する複数の独立した吐出室と、吐出室の少なくとも一方の壁の一部が振動板で構成されており、該振動板に設けられた共通電極と、該振動板の各々に空間を挟んで対向する個別電極間に電圧を加えることにより、該振動板を変形させるインクジェットヘッドにおいて、前記個別電極に段差が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
引用特許：
審査官引用 (2件)

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