特許
J-GLOBAL ID:200903017315752758
表面性状測定機のセンサー校正装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-353864
公開番号(公開出願番号):特開2001-165630
出願日: 1999年12月14日
公開日(公表日): 2001年06月22日
要約:
【要約】【課題】 表面性状測定機に用いられる画像センサーの座標校正を容易且つ精密に行うことができるセンサー校正装置を提供する。【解決手段】 中心軸Cを有する円柱20の外側の基準側面20と、この中心軸Cに直交する円柱20の上端面13と、基準側面20と上端面13との接合部分に設けられた斜面部14と、円柱20の下部近傍に設けられた照明光反射部30と、測定機の基台へ固定するための固定部40とを備える。
請求項(抜粋):
中心軸を有する円柱の外側面であって、校正基準面を形成する基準側面と、前記中心軸に直交し、高さ基準面を形成する前記円柱の上端面と、前記基準側面と前記上端面との接合部分に設けられた斜面部と、前記円柱の下部近傍に設けられた照明光反射部と、測定機の基台へ固定するための固定部と、を備えることを特徴とする表面性状測定機のセンサー校正装置。
Fターム (14件):
2F065AA03
, 2F065AA04
, 2F065AA17
, 2F065AA39
, 2F065AA51
, 2F065BB06
, 2F065BB27
, 2F065EE00
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF61
, 2F065LL16
, 2F065TT02
, 2F065UU03
引用特許:
出願人引用 (5件)
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特開昭63-269004
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光学式測定機用照明装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-342648
出願人:株式会社ミツトヨ
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特開平1-166106
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審査官引用 (2件)
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特開昭63-269004
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光学式測定機用照明装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-342648
出願人:株式会社ミツトヨ
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