特許
J-GLOBAL ID：200903017341670484
電子デバイスハンドラ及び電子デバイス検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-349926
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165777
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 コンタクトハンドで保持して検査位置に位置決めしたデバイスの温度測定を非接触で行い、センサ用配線を不要にするとともに、検査デバイスの安定した温度測定を可能とする。【解決手段】 IC10を保持して検査位置に位置決めするコンタクトハンド1を備えたIC検査用ハンドラにおいて、IC10を検査位置に位置決めした状態におけるコンタクトハンド1の近傍に放射熱を測定する赤外線放射温度計8を配し、コンタクトハンド1に赤外線の進行方向を変えるミラー7を組み込み、IC10が検査位置にあるときにIC10が放射する赤外線をミラー7を介して赤外線放射温度計8に照射させIC10の温度を測定する。
請求項（抜粋）：
電子デバイスを保持して検査位置に位置決めするコンタクトハンドを備えた電子デバイスハンドラにおいて、放射熱を測定する非接触温度計と、前記コンタクトハンドで保持された電子デバイスから放射される放射熱の進行方向を前記非接触温度計に向ける放射熱方向変更部材とで構成されるデバイス温度測定手段を備えた、ことを特徴とする電子デバイスハンドラ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 5/02 K
, G01R 31/26 Z
2G003AA06
, 2G003AA07
, 2G003AC03
, 2G003AD06
, 2G003AH08
, 2G066AA01
, 2G066AC07
, 2G066AC11
, 2G066BA14
, 2G066BA24
, 2G066BA25
, 2G066BA30
, 2G066CA01
, 2G066CA14
