特許
J-GLOBAL ID：200903017378818244

配線構造、その製造方法、および表示装置

発明者：
長谷川 勲

長谷川 勲 について

, 
鈴木 浩司

鈴木 浩司 について


出願人/特許権者：
三洋電機株式会社

三洋電機株式会社 について


代理人 (1件)： 森下 賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-059151
公開番号（公開出願番号）：特開2003-258094
出願日： 2002年03月05日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：
【要約】【課題】 配線構造と他の電極間のショートを防ぐ。【解決手段】 SiO2により構成されたゲート絶縁膜12およびその上に積層され、SiNにより構成された層間絶縁膜13に、緩衝フッ酸を用いたエッチングによりコンタクトホールを形成する。このコンタクトホールに、高融点金属により構成された第1の保護金属層170と、高融点金属よりも抵抗の低い金属により構成された配線層172と、および高融点金属により構成され、ゲート絶縁膜12よりも厚く形成された第2の保護金属層174とがこの順で積層された電極53を形成する。
請求項（抜粋）：
異なる材料により構成された第1の絶縁層および第2の絶縁層がこの順で積層された絶縁膜に形成されたコンタクトホールに設けられた配線構造であって、高融点金属により構成された第1の金属層と、前記高融点金属よりも抵抗の低い金属により構成された配線層と、高融点金属により構成され、前記第1の絶縁層よりも厚く形成された第2の金属層と、がこの順で積層された配線を有することを特徴とする配線構造。
IPC (4件)：
H01L 21/768 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 29/786 ,  H05B 33/14
FI (4件)：
H01L 21/28 301 R ,  H05B 33/14 A ,  H01L 21/90 C ,  H01L 29/78 612 C
Fターム (116件)：
3K007AB05 ,  3K007AB08 ,  3K007DB03 ,  3K007GA00 ,  4M104AA01 ,  4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB13 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD09 ,  4M104DD12 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD18 ,  4M104DD37 ,  4M104EE03 ,  4M104EE12 ,  4M104EE14 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF13 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104HH05 ,  4M104HH08 ,  4M104HH20 ,  5F033GG04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ13 ,  5F033JJ14 ,  5F033JJ17 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ20 ,  5F033JJ21 ,  5F033KK01 ,  5F033KK04 ,  5F033KK07 ,  5F033KK08 ,  5F033KK11 ,  5F033KK13 ,  5F033KK14 ,  5F033KK17 ,  5F033KK19 ,  5F033KK20 ,  5F033KK21 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033NN06 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ33 ,  5F033QQ34 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ98 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR21 ,  5F033SS11 ,  5F033TT02 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033WW02 ,  5F033XX13 ,  5F033XX28 ,  5F033XX31 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110BB04 ,  5F110CC01 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110EE04 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL12 ,  5F110HL23 ,  5F110HM03 ,  5F110HM17 ,  5F110HM19 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ09
引用特許：
審査官引用 (3件)

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