静電吸着装置及び方法、露光装置、デバイスの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西山恵三 , 内尾裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-350346
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116849
出願日： 2003年10月09日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：

【課題】変形したウエハを平面に矯正し、かつ転写性能の劣化となる静電チャックの熱膨張による変形を低減することで所望の転写性能をもたらす吸着装置及び方法、当該吸着装置を有する露光装置を提供する。【解決手段】ウエハを静電吸着する静電吸着装置であって、ウエハ搬送手段からウエハを静電吸着させる手段へウエハを受け渡す時の静電吸着させる手段への印加電圧に対して、吸着動作が完了した後の印加電圧を少なくする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電圧を印加させることで、真空中でウエハを静電吸着させる手段、該ウエハを静電吸着させる手段を冷却する手段、ウエハ搬送手段、ウエハ搬送手段から静電吸着させる手段へウエハを受け渡す手段、ウエハの静電吸着動作が完了した事を検知する手段、静電吸着させる手段に印加する電圧を可変する手段とを有し、該静電吸着させる手段に印加する電圧を可変する手段は、ウエハ搬送手段から静電吸着させる手段へウエハを受け渡す時の静電吸着させる手段への印加電圧に対して吸着動作が完了した後の印加電圧を少なくすることを特徴とする静電吸着装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 , G03F7/20 , H01L21/027

FI (3件)：

H01L21/68 R , G03F7/20 521 , H01L21/30 503C

Fターム (19件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031HA02 , 5F031HA16 , 5F031HA53 , 5F031JA01 , 5F031JA21 , 5F031KA06 , 5F031LA08 , 5F031MA27 , 5F031NA05 , 5F031PA14 , 5F046CC01 , 5F046CC08 , 5F046CD01

引用特許：

出願人引用 (1件)

露光装置及びデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-179549 出願人：株式会社ニコン

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