特許
J-GLOBAL ID：200903017409013169

有機ELパネルの製造方法。

発明者：
遠藤 利明

遠藤 利明 について

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渡辺 俊介

渡辺 俊介 について

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佐藤 隆雄

佐藤 隆雄 について

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小林 成康

小林 成康 について

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藤井 克昌

藤井 克昌 について

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坂井 一則

坂井 一則 について

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小林 郁夫

小林 郁夫 について


出願人/特許権者：
日本精機株式会社

日本精機株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206351
公開番号（公開出願番号）：特開2003-027213
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：
【要約】【課題】 多機種を流動させる場合であっても段取り換えに時間を要せず、生産性を向上させることが可能な有機ELパネルの製造方法を提供する。【解決手段】 蒸着工程内の各蒸着室の生産条件及び生産数量を少なくとも含む生産管理情報を有機ELパネルの機種毎に設定するライン端末Dと、前記有機ELパネルの前記機種に応じた複数の蒸着マスクを真空雰囲気中に保管する第1,第2蒸着マスク保管室(第1のストック部)a6,b6とを備え、ライン端末Dの前記生産管理情報に基づいて、蒸着工程内の前記各蒸着室に装着されている蒸着マスクから第1,第2蒸着マスク保管室a6,b6に保管されている前記機種に応じた蒸着マスクに搬送ロボット(交換装置)a8,b7を用いて交換する。
請求項（抜粋）：
複数の着炉を有する蒸着装置に支持基板を投入し、前記支持基板上に少なくとも発光層を含む有機層を一対の電極により狭持してなる有機EL素子を形成する蒸着工程を含む有機ELパネルの製造方法であって、前記各蒸着室の生産条件及び生産数量を少なくとも含む生産管理情報を前記有機ELパネルの機種毎に設定するライン端末と、前記機種に応じた複数の蒸着マスクを真空雰囲気中に保管する第1のストック部とを備え、前記生産管理情報に基づいて、前記蒸着工程内の前記蒸着室に装着されている蒸着マスクから前記第1のストック部に保管されている前記機種に応じた蒸着マスクに交換装置を用いて交換することを特徴とする有機ELパネルの製造方法。
IPC (5件)：
C23C 14/04 ,  G09F 9/00 342 ,  H05B 33/04 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14
FI (5件)：
C23C 14/04 A ,  G09F 9/00 342 Z ,  H05B 33/04 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A
Fターム (15件)：
3K007AB18 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB14 ,  4K029HA01 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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