特許

J-GLOBAL ID：200903017410082093

露光用照明装置

発明者： 森 孝司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046140
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217855
出願日： 1992年02月01日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【目的】 σ値を大幅に変化させた場合にも照度均一性を悪化させない。【構成】 オプティカルインテグレータ2と交換自在に第2のオプティカルインテグレータ12を設け、第2のオプティカルインテグレータ12を、オプティカルインテグレータ2と2次光源の数がほぼ同一で且つそれら2次光源からなる面光源の大きさが異なる如く構成し、更にオプティカルインテグレータ2の射出側の開口数と等しい射出側の開口数を持つ如く構成する。

請求項（抜粋）：

平行光束を供給する光源系と、該光源系からの平行光束によって複数の2次光源からなる面光源を形成するオプティカルインテグレータと、前記複数の2次光源からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明する集光光学系とを有する露光用照明装置において、前記オプティカルインテグレータと交換自在に第2のオプティカルインテグレータを設け、該第2のオプティカルインテグレータは、前記オプティカルインテグレータと2次光源の数がほぼ同一で且つ前記面光源の大きさが異なる如く構成されると共に、前記オプティカルインテグレータの射出側の開口数と等しい射出側の開口数を持つ如く構成され、前記第2のオプティカルインテグレータが前記露光用照明装置の光路内に設定された際に、前記被照射面上で重畳される前記複数の2次光源の個数を前記オプティカルインテグレータとほぼ等しくしつつ、前記露光用照明装置の被照射面側の開口数を可変にした事を特徴とする露光用照明装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 露光用照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-271502   出願人：富士通株式会社