特許
J-GLOBAL ID：200903017454468312
カラーフィルタの検査方法及び検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-098415
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292127
出願日： 1995年04月24日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：
【要約】【目的】 検査処理をスムースに行えるようにする。【構成】 カラーフィルタ基板を載置する検査ステージと、この載置された基板を照射する光源部と、基板からの光を検出する検出手段と、検出手段からの画像信号を電気的に処理する画像処理部とを備えた検査装置によりカラーフィルタの検査を行う方法において、R,G,Bの各着色画素の検出信号のうちの許容範囲外の検出信号を一定の数値に変換し、得られた一定数値を持つ画素の数をカウントしたカウント数をもとに良品と不良品の判断を行う。基準画像メモリと検査画像メモリとの比較で検査することなく、基準画像から外れた画素のカウント数を記憶するだけで済む。
請求項（抜粋）：
カラーフィルタ基板を載置する検査ステージと、この載置されたカラーフィルタ基板を照射する光源部と、カラーフィルタ基板からの光を検出する検出手段と、検出手段からの検出信号を電気的に処理する画像処理部とを備えた検査装置によりカラーフィルタの検査を行う方法であって、R,G,Bの各着色画素の検出信号のうちの許容範囲外の検出信号を一定の数値に変換し、得られた一定数値を持つ画素の数をカウントしたカウント数をもとに良品と不良品の判断を行うことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
IPC (3件)：
G01M 11/00
, G02F 1/1335 505
, G02B 5/20 101
G01M 11/00 T
, G02F 1/1335 505
, G02B 5/20 101
