特許
J-GLOBAL ID：200903017478482286
回折型光学部品の設計方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-034012
公開番号（公開出願番号）：特開2000-231012
出願日： 1999年02月12日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：
【要約】【目的】 広い製造公差を許す回折型光学部品設計方法を提供すること。【構成】 誤差を賦与した状態S1、S2...を想定し、これら誤差賦与状態の評価関数E1、E2...を含んだ評価関数を作り、これを最小化して最適の回折部品パターンを求める。
請求項（抜粋）：
基板面を縦横のセルに分割し各々のセルの高さを複数段階に変化させ基板を透過し或いは基板によって反射される回折光の位相差をπ/2M-1、2π/2M-1、3π/2M-1、...、(2M-1)π/2M-1(Mは整数)の何れかになるように段差をあたえ回折光が所望のパターンになるようにした回折型光学部品の設計において、誤差を与えない無誤差状態S0の評価関数E0と、誤差を賦与した状態S1、S2、...の評価関数E1、E2、...を定数重みを乗じて合い加えた統合評価関数E=w0E0+w1E1+w2E2+...を作り、これを最小化することによって最適の変数の組を求めることを特徴とする回折型光学部品の設計方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 5/18
, G06F 15/60 680 A
2H049AA33
, 2H049AA37
, 2H049AA48
, 2H049AA51
, 2H049AA63
, 2H049AA65
, 2H049AA66
, 5B046JA07
