特許

J-GLOBAL ID：200903017489081062

超音波振動子及びその製造方法

発明者： 原田 裕之
出願人/特許権者： アロカ株式会社
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-353781
公開番号（公開出願番号）：特開2002-153461
出願日： 2000年11月21日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：

【要約】【課題】 超音波振動子を製造する場合に、グランドインピーダンスを低減する。【解決手段】 圧電体の下面側にバッキングが設けられ、そのバッキングは銅箔32によって包み込まれる。その銅箔32は、フレキシブル回路基盤18に設けられたアースライン20B,20Cに対して電気的に接続されており、また、ワイヤ35を介して各振動素子の上面電極に対しても電気的に接続されている。グランドラインを効果的に構成することによってグランドインピーダンスを低減できる。

請求項（抜粋）：

超音波の送受波を行う圧電体と、前記圧電体の下面側に設けられ、リードラインとアースラインとを有するフレキシブル回路基板と、前記フレキシブル回路基板の下面側に設けられたバッキング層と、前記バッキング層の少なくとも1面に沿って設けられ、前記アースラインに電気的に接続される導電膜と、を含むことを特徴とする超音波振動子。

IPC (8件)：

A61B 8/00 ,  G01N 29/24 502 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H04R 17/00 330 ,  H04R 17/00 ,  H04R 17/00 332 ,  H04R 31/00 330

FI (8件)：

A61B 8/00 ,  G01N 29/24 502 ,  H04R 17/00 330 J ,  H04R 17/00 330 H ,  H04R 17/00 332 A ,  H04R 31/00 330 ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z

Fターム (10件)：

2G047GB02 ,  2G047GB21 ,  4C301EE16 ,  4C301GB18 ,  4C301GB33 ,  5D019BB18 ,  5D019BB28 ,  5D019FF04 ,  5D019GG01 ,  5D019HH03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 超音波振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-118417   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平3-054996
  

審査官引用 (2件)

• 超音波振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-118417   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平3-054996