特許
J-GLOBAL ID:200903017494282874

測長方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉谷 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-140731
公開番号(公開出願番号):特開平10-332339
出願日: 1997年05月30日
公開日(公表日): 1998年12月18日
要約:
【要約】【課題】 測定プログラムをビジュアル化することによって、測定プログラムの作成および編集を容易に行うことができる。【解決手段】 画像取り込み手段7の視野内に位置する被測定物の実画像を表示する視野内画像領域と、測定台の座標を表す親座標画像を表示する親座標画像領域とを有するモニタ66と、視野内画像領域に表示されている被測定物上の所望の測定箇所を指示するためのジョイスティック3b及び微動ツマミ3cと、指示された測定箇所の座標を指示座標として記憶するRAM58と、測定プログラムの作成又は編集の際に、親座標画像領域に指示座標を重ね合わせて表示する重ね合わせ表示部68cとを備え、親座標画像領域に重ね合わせ表示された指示座標により被測定物上の測定箇所を容易に知ることができる。
請求項(抜粋):
被測定物に形成されたパターンなどに位置する所望の測定箇所を指示し、その測定箇所の測定台上における座標を指示座標として規定する測定プログラムの作成又はその編集を行い、被測定物を前記測定台に載置し、前記測定プログラムの実行により画像取り込み手段と前記測定台とを相対移動させて前記指示座標付近に前記画像取り込み手段を移動させ、その移動量に基づき前記被測定物上における前記測定箇所の座標や寸法を測定する測長方法において、前記測定プログラムの作成又は編集の際に、前記指示座標を、前記測定台の座標を表す親座標画像に重ね合わせて表示するようにしたことを特徴とする測長方法。
IPC (6件):
G01B 11/02 ,  G01B 11/00 ,  G01B 21/00 ,  G01N 21/88 ,  G03F 9/00 ,  G06T 7/00
FI (6件):
G01B 11/02 H ,  G01B 11/00 H ,  G01B 21/00 Z ,  G01N 21/88 E ,  G03F 9/00 H ,  G06F 15/62 405 Z
引用特許:
審査官引用 (3件)

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