特許
J-GLOBAL ID：200903017518887241

容量性マイクロマシン超音波振動子

発明者：
フレイザー,ジョン ディー

フレイザー,ジョン ディー について


出願人/特許権者：
コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ

コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-511146
公開番号（公開出願番号）：特表2004-503313
出願日： 2001年06月08日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
複数の容量性マイクロマシン超音波振動子(cMUT)によって超音波振動子が形成される。容量性マイクロマシン超音波振動子のそれぞれは荷電振動板を有し、この荷電隔膜板は逆に荷電された基板に容量性をもって対抗する。この振動板は、バイアス荷電によって基板へ向けて広がる。この基板は、振動板の移動中心においてセルの荷電が最大密度となるように振動板中心へ対して隆起した中心部を有する。高調波動作のために、セルに給与される駆動パルスは、高調波帯域における送信信号の汚染を低減するために、装置の非線形動作に鑑みて予め歪められる。cMUTセルは、従来通りの半導体プロセスによって加工され得るため、バイアス荷電レギュレータなどの補助振動子回路と一体化され得る。cMUTセルは、更に、マイクロステレオリソグラフィによっても加工され得るため、セルは多様なポリマ及び他の物質を用いて形成され得る。
請求項（抜粋）：
バイアス電位によってバイアスされた容量性マイクロマシン超音波振動子セルから音響信号を送信する方法であって、 前記セルの動きと掛けられる電位との間の非線形関係を求め、 前記非線形関係を考慮した駆動信号特性を開発し、 前記駆動信号特性を前記セルに掛けることによって音響信号を送信する方法。
IPC (3件)：
A61B8/00 ,  B81B3/00 ,  H04R19/00
FI (3件)：
A61B8/00 ,  B81B3/00 ,  H04R19/00 330
Fターム (26件)：
4C301EE04 ,  4C301EE06 ,  4C301EE16 ,  4C301GB02 ,  4C301GB14 ,  4C301GB18 ,  4C301GB33 ,  4C301HH01 ,  4C301HH02 ,  4C301JB17 ,  4C601EE02 ,  4C601EE03 ,  4C601EE13 ,  4C601GB01 ,  4C601GB03 ,  4C601GB14 ,  4C601GB19 ,  4C601GB41 ,  4C601HH04 ,  4C601HH05 ,  4C601JB51 ,  5D019AA21 ,  5D019AA23 ,  5D019DD01 ,  5D019FF04 ,  5D019GG11
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 非線形補償の方法と装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-334545   出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
審査官引用 (1件)
  • 非線形補償の方法と装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-334545   出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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