特許
J-GLOBAL ID：200903017532534807
慣性力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-231301
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083666
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 角速度及び加速度をともに精度よく検出可能な慣性力センサを提供する。【構成】 重り部12をX軸方向に加振する。Y軸回りに加速度が加わると、これによってより重り部12がZ軸方向に振動する。Z軸方向の加速度が加わると重り部12がZ軸方向に変位する。変位検出回路30は、重り部12と下部電極21及び上部電極25の間の静電容量の変化の検出により、重り部12のZ軸方向の変位を検出する。サーボ回路34は、重り部12のZ軸方向変位又はその低周波成分が0となるようサーボ信号を発生させ、力発生回路32はこのサーボ信号に応じ重り部12と下部電極21及び上部電極25との間に加わる電圧を変化させる。周波数弁別回路36は、サーボ回路34から出力されるサーボ信号(及び変位検出回路30によって検出される変位)から、Y軸回りの角速度を示す成分とZ軸方向の加速度を示す成分とを弁別して出力する。
請求項（抜粋）：
X軸方向及びこれに直交するZ軸方向に振動可能に、かつX軸及びZ軸に直交するY軸回りに回転可能に、支持された重り部と、重り部をX軸方向に振動させる手段と、重り部のZ軸方向変位を計測する手段と、サーボ信号に応じ重り部にZ軸方向の力を加える手段と、重り部のZ軸方向変位が0となるよう上記計測結果に応じてサーボ信号を発生させる手段と、サーボ信号から高周波成分と低周波成分を弁別して出力する手段と、を備え、重り部に加わったZ軸方向加速度の変化を上記低周波成分として、重り部に加わったY軸回りの角速度を上記高周波成分として、それぞれ検出することを特徴とする慣性力センサ。
引用特許：
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