特許
J-GLOBAL ID：200903017545033386
炭化ケイ素構造体の製造方法および該製造方法による炭化ケイ素構造体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231574
公開番号（公開出願番号）：特開平11-079843
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】 反りが解消され、加工時における欠けもなく、特性値についても均一な炭化ケイ素構造体を提供すること。【解決手段】 (1)炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤とが均一に混合された混合物を焼結することにより得られた、密度が2.9g/cm3 以上の炭化ケイ素焼結体を、さらに1700〜2400°Cで、不活性ガスの雰囲気下で熱処理することを特徴とする炭化ケイ素構造体の製造方法および該製造方法による炭化ケイ素構造体。(2)炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤とが均一に混合された混合物を焼結することにより得られた、密度が2.9g/cm3 以上の炭化ケイ素焼結体をスライス加工し、研削し、さらに研磨した後、1700〜2400°Cで、不活性ガスの雰囲気下で熱処理することを特徴とする炭化ケイ素構造体の製造方法および該製造方法による炭化ケイ素構造体。
請求項（抜粋）：
炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤とが均一に混合された混合物を焼結することにより得られた、密度が2.9g/cm3 以上の炭化ケイ素焼結体を、さらに1700〜2400°Cで、不活性ガスの雰囲気下で熱処理することを特徴とする炭化ケイ素構造体の製造方法。
IPC (3件)：
C04B 35/565
, C04B 35/571
, C04B 35/645
C04B 35/56 101 X
, C04B 35/56 101 M
, C04B 35/64 302 C
