特許

J-GLOBAL ID：200903017556695364

基板ホルダ

発明者： 渡邊 正 ,  川俣 健 ,  池田 浩 ,  豊原 延好 ,  高尾 潔
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-175636
公開番号（公開出願番号）：特開2000-008163
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】 特定の成膜面への成膜時に、隣接した他の成膜面への悪影響をなくす構造の基板ホルダとする。【解決手段】 成膜される成膜基板10は稜線11を介して隣接する成膜面12a、12bを有している。成膜基板10を基板ホルダ13によって保持して成膜する。基板ホルダ13は、成膜基板10を保持する本体と、隣接した成膜面12a、12bの稜線11に沿って成膜面を区切るマスク15aとを備える。マスク15aが蒸着流を遮蔽するため、蒸着流が他の成膜面12cに回り込むことがなく、他の成膜面12cの光学特性に悪影響を与えることがなくなる。

請求項（抜粋）：

光学薄膜が成膜される隣接した少なくとも2つの成膜面を有した成膜基板を保持する本体と、この本体に設けられ、前記隣接した成膜面の境界となる稜線に沿って各成膜面を区切るマスクと、を備えていることを特徴とする基板ホルダ。

IPC (7件)：

C23C 14/50 ,  C23C 14/20 ,  C23C 14/24 ,  G02B 1/11 ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/28 ,  G02B 26/10 102

FI (7件)：

C23C 14/50 F ,  C23C 14/20 A ,  C23C 14/24 G ,  G02B 5/08 Z ,  G02B 5/28 ,  G02B 26/10 102 ,  G02B 1/10 A

Fターム (20件)：

2H042DA02 ,  2H042DA11 ,  2H042DC02 ,  2H042DD03 ,  2H045AA06 ,  2H048GA09 ,  2H048GA17 ,  2H048GA60 ,  2K009BB11 ,  2K009CC14 ,  2K009DD03 ,  2K009FF02 ,  4K029AA11 ,  4K029AA21 ,  4K029BA03 ,  4K029BC07 ,  4K029BD09 ,  4K029CA01 ,  4K029DA10 ,  4K029HA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 光学部品の蒸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-197326   出願人：ミノルタ株式会社

審査官引用 (1件)

• 光学部品の蒸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-197326   出願人：ミノルタ株式会社