特許
J-GLOBAL ID：200903017609696368
ペロブスカイト型酸化物薄膜形成用原料溶液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248734
公開番号（公開出願番号）：特開2001-072926
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：
【要約】【課題】 1回の塗布で厚膜成膜が可能である;塗布後にストリエーションがない;経時変化安定性に優れる;ペロブスカイト型酸化物薄膜にクラックが生じない;ペロブスカイト型酸化物薄膜中にボイドがなく、十分に緻密化されている;塗布後に膜厚ムラがない;低いアニール温度でペロブスカイトに結晶化できる;ペロブスカイト型酸化物薄膜形成用原料溶液を提供する。【解決手段】 Pbを含有するペロブスカイト型酸化物薄膜を成膜するための原料溶液であって、2以上の成分金属を含む金属化合物の部分加水分解物及び/又はその部分重縮合物を有機溶媒中に含有する溶液からなる原料溶液において、有機触媒としてプロピレングリコール及び/又はトリエチレングリコールを用いたペロブスカイト型酸化物薄膜形成用原料溶液。
請求項（抜粋）：
Pbを含有するペロブスカイト型酸化物薄膜を成膜するための原料溶液であって、2以上の成分金属を含む金属化合物の部分加水分解物及び/又はその部分重縮合物を有機溶媒中に含有する溶液からなる原料溶液において、該溶液中にプロピレングリコール及び/又はトリエチレングリコールを含有することを特徴とするペロブスカイト型酸化物薄膜形成用原料溶液。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
4J038DM021
, 4J038JA23
, 4J038JC38
, 4J038KA06
