特許
J-GLOBAL ID：200903017626981017

気液混合洗浄装置及び気液混合洗浄方法

発明者：
横井 生憲

横井 生憲 について

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阿部 俊和

阿部 俊和 について

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白井 泰雪

白井 泰雪 について

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大見 忠弘

大見 忠弘 について


出願人/特許権者：
大見 忠弘

大見 忠弘 について

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ユーシーティー株式会社

ユーシーティー株式会社 について


代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-275554
公開番号（公開出願番号）：特開2002-153826
出願日： 2001年09月11日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：
【要約】【課題】 微小な外力等により極めて影響の受け易い超微細な電子部品等が洗浄対象である場合でも、製品の性能劣化を起こすことなく、短時間に効率良く洗浄することを可能とする。【解決手段】 液体流入口2から導入された液体が液体供給配管5を通って整流板4に到達するとともに、気体流入口3からノズル筐体1の内部に導入された気体が整流板4に到達し、液体と気体が混合されて気液混合流体を構成し、この気液混合流体を整流板4を介して、毛細管現象により当該整流板4の表面からその全域にわたって均一に噴霧し、ある面積の被洗浄部に高圧をかけることなく緩やかに気液混合流体を均一に照射する。
請求項（抜粋）：
面状の噴霧部を有し、気体と液体を混合した気液混合流体を前記噴霧部から当該噴霧部の全域にわたって均一に噴霧し、ある面積の被洗浄部を均一に照射する気液混合洗浄ノズルを備えたことを特徴とする気液混合洗浄装置。
IPC (6件)：
B08B 3/02 ,  B05B 1/04 ,  B05B 7/04 ,  B05D 1/02 ,  B05D 3/10 ,  B05C 11/10
FI (7件)：
B08B 3/02 G ,  B08B 3/02 H ,  B05B 1/04 ,  B05B 7/04 ,  B05D 1/02 Z ,  B05D 3/10 F ,  B05C 11/10
Fターム (51件)：
3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201BB33 ,  3B201BB36 ,  3B201BB72 ,  3B201BB82 ,  3B201BB87 ,  3B201BB88 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  4D075AA01 ,  4D075AA71 ,  4D075BB16X ,  4D075BB65X ,  4D075DA06 ,  4D075DC21 ,  4D075EA05 ,  4D075EB01 ,  4F033AA04 ,  4F033BA01 ,  4F033BA03 ,  4F033BA04 ,  4F033CA05 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F033JA03 ,  4F033NA01 ,  4F033QA09 ,  4F033QB02Y ,  4F033QB03X ,  4F033QB15X ,  4F033QB15Y ,  4F033QB17 ,  4F033QC02 ,  4F033QD02 ,  4F033QD04 ,  4F033QD15 ,  4F033QD25 ,  4F033QE01 ,  4F033QE09 ,  4F033QE14 ,  4F033QE24 ,  4F033QF11X ,  4F033QF11Y ,  4F033QF15Y ,  4F033QG00 ,  4F033QG38 ,  4F042AA06 ,  4F042CC04 ,  4F042CC09 ,  4F042DA01
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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