加速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-163158
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347474
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】加速度センサを製造するときの洗浄,乾燥工程で、可動電極が固定電極に張り付いたり、分離不可能に密着してしまう不良事故を防止する。【構成】各固定部22の固定電極22A側から質量部27の可動電極27A側に向けて突出する各突起部23と、質量部27の可動電極27A側から各固定部22の固定電極22A側に向けて突出する突起部28とを形成する。洗浄,乾燥工程で固定部22と質量部27間に水が介在しても、先の尖った各突起部23,28が互いに相手方の電極表面に当接して微小隙間を確保でき、この微小隙間から水を逃がし、固定電極22Aに可動電極27Aが張り付いたり、乾燥工程で固定部22と質量部27が分離不可能に密着してしまうのを防止できる。

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、該絶縁基板上に設けられ、シリコン板をエッチング加工することにより互いに分離して形成された固定部および可動部とを備え、該固定部には固定電極を一体に形成し、前記可動部は、絶縁基板上に固着された支持部と、梁を介して該支持部と連結され、加速度が作用したときに該加速度に応じて変位する質量部と、該質量部に前記固定部に形成された固定電極との間で微小隙間を介して対向するように設けられ、該質量部の変位によって近接、離間する可動電極とから一体形成してなる加速度センサにおいて、互いに対向する前記固定電極と可動電極との間には、少なくとも一方の電極側から他方の電極側に向けて突出し、前記各電極間に微小隙間を確保する突起部を形成したことを特徴とする加速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特表平4-504003
特開平4-116465
特開平4-244968

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