特許

J-GLOBAL ID：200903017636135912

照度校正システム

発明者： 村 地 篤 ,  吉 村 治 巳
出願人/特許権者： 応用電機株式会社 ,  株式会社北辰光器
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-370725
公開番号（公開出願番号）：特開2002-174551
出願日： 2000年12月05日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 従来の照度校正システムは絞り機構の光量と操作量の関係が直線性を持つものしか利用できない上に、照度切換速度にも限界がある。また照度を均一化させる手段は高価であるし、複雑で手間を要する。【解決手段】 照度制御機構は、照度を変化させる可変絞り7と、複数のNDフィルタ8,9と、各NDフィルタを組合せる駆動手段19と、目標の照度値を実現するNDフィルタの組合せを予め記憶させたメモリと、目標照度値に基づいて駆動手段を作動させ、照度が目標値になるように制御する制御手段とを具備するものとした。また、照射機構は、照度を均一化する均一化手段2と、照明視野を限定するマスクと、露光位置にテレセントリック照射させる照射手段とを具備するものとした。

請求項（抜粋）：

光源の照度を制御し一定に保持する照度制御機構を具備する照度校正システム。

IPC (5件)：

G01J 1/02 ,  G01J 1/04 ,  G01J 1/06 ,  G01J 1/22 ,  H05B 37/02

FI (6件)：

G01J 1/02 S ,  G01J 1/04 A ,  G01J 1/04 B ,  G01J 1/06 A ,  G01J 1/22 ,  H05B 37/02 D

Fターム (22件)：

2G065AA03 ,  2G065AB26 ,  2G065BA04 ,  2G065BB05 ,  2G065BB09 ,  2G065BB20 ,  2G065BB24 ,  2G065BB26 ,  2G065BC19 ,  2G065BC33 ,  2G065BC35 ,  2G065DA01 ,  3K073AA12 ,  3K073AA14 ,  3K073AA54 ,  3K073BA28 ,  3K073CC12 ,  3K073CE17 ,  3K073CF01 ,  3K073CF12 ,  3K073CH21 ,  3K073CM07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-110428
  
• 露光装置及び照度分布計測方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-092177   出願人：株式会社ニコン
• 低照度校正装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-300931   出願人：松下電器産業株式会社