特許
J-GLOBAL ID：200903017636787898
優れたパターン形成可能な画像形成用材料
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成瀬 勝夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-181042
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019728
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 膜厚1〜100μmの変化に関係なく、表面荒れ防止性やパターン形状性に優れており、特に300〜450nmのi線、h線、g線に対して高感度を有する優れたパターン形成可能な画像形成用材料を提供する。【解決手段】 常圧において100°C以上の沸点を有し、かつ、1分子中に少なくとも2つ以上のエチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物(成分A)とアルカリ可溶性樹脂(成分B)とを画像マトリックス成分として含み、1,3,5-トリアジン誘導体(成分C)とN-フェニルグリシン類(成分D)とを光重合開始剤成分として含む画像形成用材料であり、上記画像マトリックス成分における成分Aと成分Bとの割合が重量比(成分A/成分B)10/90〜90/10である。
請求項（抜粋）：
常圧において100°C以上の沸点を有し、かつ、1分子中に少なくとも2つ以上のエチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物(成分A)とアルカリ可溶性樹脂(成分B)とを画像マトリックス成分として含み、下記一般式(1)【化1】(但し、式中、R<SB>1 </SB>、R<SB>2 </SB>、及びR<SB>3 </SB>は水素原子、又は炭素数1〜18のアルキル基、置換アルキル基、アルキレン基、置換アルキレン基、アリール基、若しくは置換アリール基を示し、これらは互いに同じであっても異なっていてもよく、また、そのうちの少なくとも1つはトリハロゲノメチル基である)で表される1,3,5-トリアジン誘導体(成分C)と、下記一般式(2)【化2】(但し、式中R<SB>4 </SB>及びR<SB>5 </SB>は水素原子又は炭素数1〜8のアルキル基を示し、nは0〜5の整数である)で表されるN-フェニルグリシン類(成分D)とを光重合開始剤成分として含む画像形成用材料であり、上記画像マトリックス成分における成分Aと成分Bとの割合が重量比(成分A/成分B)10/90〜90/10であり、かつ、画像マトリックス成分100重量部に対して、上記成分Cを、光照射時の膜厚(tμm)が1μm≦t≦60μmの時には0.3〜(5-2.53 logt)重量部の割合で、また、この光照射時の膜厚(tμm)が60μm<t≦100μmの時には0.3〜0.5重量部の割合で含有すると共に、上記成分Dを0.5〜3重量部の割合で含有することを特徴とする優れたパターン形成可能な画像形成用材料。
IPC (4件)：
G03F 7/029
, C08F 2/48
, G03F 7/031
, H01L 21/027
G03F 7/029
, C08F 2/48
, G03F 7/031
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AB13
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AB20
, 2H025AC04
, 2H025BC42
, 2H025CA14
, 2H025CB13
, 2H025CB43
, 2H025DA08
, 4J011AC04
, 4J011QA12
, 4J011QA13
, 4J011QA17
, 4J011QA19
, 4J011QA22
, 4J011QA23
, 4J011QA24
, 4J011QA25
, 4J011QA26
, 4J011QA46
, 4J011RA03
, 4J011RA04
, 4J011RA07
, 4J011RA10
, 4J011SA03
, 4J011SA15
, 4J011SA20
, 4J011SA22
, 4J011SA61
, 4J011SA76
, 4J011SA77
, 4J011SA78
, 4J011SA82
, 4J011TA07
, 4J011UA01
, 4J011VA01
, 4J011WA01
