特許
J-GLOBAL ID:200903017687614025
複屈折体の複屈折率の波長分散の測定方法、プログラム及び記録媒体
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-039290
公開番号(公開出願番号):特開2003-240678
出願日: 2002年02月15日
公開日(公表日): 2003年08月27日
要約:
【要約】【課題】 複屈折体の複屈折率の波長分散を容易に測定できる方法を提供する。【解決手段】 複屈折体の厚さd0と波長データλk(k=1〜N)を入力する(S1)。次に、初期値としてm、σ(Δdk)を設定する(S2)。次に、mをm+1、σ0=σ(Δdk)を設定し(S3)、Rk(k=1〜N)としてリターデーション計算を行う(S4)。次に、コーシーの分散式で回帰計算R(λ)=A'+B'/λ2+C'/λ4を計算して係数A'、B、C'を求める(S5)。次に、複屈折率を計算するためにA=A'/d0、B=B'/d0、C=C'/d0を代入してΔn(λ)=A+B/λ2+C/λ4を計算する(S6)。次に、厚さdk(k=1〜N)をdk=Rk/Δn(λk)、Δdk=dk-d0より求め(S7)、Δdkの標準偏差σ(Δdk)を求める(S8)。その結果σ(Δdk)≦σ0であるか否かを検証し(S9)、YESであれば結果を出力する(S10)。
請求項(抜粋):
複屈折体の複屈折率の波長分散の測定方法において、厚さdが既知である複屈折体を、偏光軸が互いに直交、若しくは平行な2枚の偏光子の間に狭持して測定される分光透過率が最大もしくは最小となる複数の波長データから、前記複屈折体の複屈折率Δn及びリターデーションR=Δn・dの波長分散をコーシーの分散式R=Δn・d=A’+B’/λ2+C’/λ4によりフィッティングして求めることを特徴とする複屈折率の波長分散の測定方法。
IPC (4件):
G01M 11/00
, G01N 21/23
, G01N 21/27
, G02F 1/13363
FI (4件):
G01M 11/00 T
, G01N 21/23
, G01N 21/27 Z
, G02F 1/13363
Fターム (20件):
2G059AA02
, 2G059BB16
, 2G059EE01
, 2G059EE05
, 2G059EE09
, 2G059GG04
, 2G059GG10
, 2G059HH02
, 2G059HH06
, 2G059JJ02
, 2G059JJ19
, 2G059KK01
, 2G059MM02
, 2G086EE10
, 2H091FA11
, 2H091FA12
, 2H091FB02
, 2H091FC30
, 2H091JA03
, 2H091KA02
引用特許:
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