特許

J-GLOBAL ID：200903017742893427

アルコール性水酸基と芳香族環を同一繰り返し単位に持つプロトンによる脱離性基を有する共重合体

発明者： 鴻巣 修 ,  村上 洋平 ,  後藤 伸一 ,  荒川 元博 ,  宇賀村 忠慶 ,  吉田 雅年
出願人/特許権者： 株式会社日本触媒
代理人 (1件)： 安富 康男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-126420
公開番号（公開出願番号）：特開2003-321521
出願日： 2002年04月26日
公開日（公表日）： 2003年11月14日
要約：

【要約】【課題】 遊離プロトンによる処理前後のアルカリ水溶液への溶解性の変化等の特性、基板密着性、現像性、耐薬品性及び耐エッチング性が高いレベルで発揮され、様々な用途に好適に適用することができるプロトンによる脱離性基を有する共重合体を提供する。【解決手段】 アルコール性水酸基と芳香族環とを有し、かつプロトンによる脱離性基を有する共重合体であって、該プロトンによる脱離性基を有する共重合体は、アルコール性水酸基と芳香族環とを共に有する繰り返し単位を必須としてなるプロトンによる脱離性基を有する共重合体。

請求項（抜粋）：

アルコール性水酸基と芳香族環とを有し、かつプロトンによる脱離性基を有する共重合体であって、該プロトンによる脱離性基を有する共重合体は、アルコール性水酸基と芳香族環とを共に有する繰り返し単位を必須としてなることを特徴とするプロトンによる脱離性基を有する共重合体。

IPC (4件)：

C08F212/14 ,  C08F220/10 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

C08F212/14 ,  C08F220/10 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (41件)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AL03S ,  4J100AL08S ,  4J100AL29R ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA04Q ,  4J100BA10Q ,  4J100BA13Q ,  4J100BA16Q ,  4J100BA20Q ,  4J100BA40Q ,  4J100BC02Q ,  4J100BC03Q ,  4J100BC03S ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04S ,  4J100BC07Q ,  4J100BC08S ,  4J100BC09S ,  4J100BC43Q ,  4J100CA06 ,  4J100CA31 ,  4J100HA08 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (7件)

• アリルエーテル誘導体およびその製法並びに重合体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-279615   出願人：株式会社日本触媒
• t-ブチルアクリレートポリマーおよびフォトレジスト組成物中でのその使用
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-134815   出願人：アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド
• 感光性組成物及びネガ型平版印刷版
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-115598   出願人：富士写真フイルム株式会社
• コンタクトレンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-274458   出願人：日本油脂株式会社
• t-ブチルシンナメート重合体およびそのフォトレジスト組成物における使用
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-512742   出願人：アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド
• プロトンによる脱離性基を有する共重合体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-364466   出願人：株式会社日本触媒
• 着色粒子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-047122   出願人：日本合成ゴム株式会社