特許
J-GLOBAL ID：200903017750245515

インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者：
黒沢 龍一

黒沢 龍一 について

, 
小枝 周史

小枝 周史 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074226
公開番号（公開出願番号）：特開平10-264381
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：
【要約】【課題】シリコン基板を用いたインクジェットヘッド製造方法において、封止材からの気体の発生を防ぐことにより吐出の出力を安定させ高気密な封止を可能にする。【解決手段】振動板の形成されたシリコン基板2を酸素雰囲気中で所定時間熱酸化を行い、表面に熱酸化膜11を形成する。次に、溝7が形成された電極ガラス基板3にITO電極薄膜8をRFスパッタリングを用いて形成する。熱酸化膜11が形成されたシリコン基板2と電極ガラス基板3を貼り合わせた状態で加熱し、シリコン基板2側を正、電極ガラス基板3側を負として陽極接合を行う。そして、貼りあわせ基板の電極取り出し部9に低融点ガラス10を置き、真空加熱炉内に投入して封止する。
請求項（抜粋）：
複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連通する複数の独立の吐出室と、該吐出室の少なくとも一方の壁の一部が機械的に変形をおこすようになっている振動板と、該振動板を駆動する駆動手段と、該振動板と平行に設けられた該駆動手段を有する基板と、該複数の吐出室にインクを供給する共通のインクキャビティを有し、該駆動手段に電気パルスを印加することにより、該駆動手段に対応する該振動板を該吐出室の圧力が上昇する方向に変形させ、該ノズル孔よりインク滴を記録紙に向け吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記基板と前記振動板の空隙から外部に通じる通路を低融点ガラスを用いて封止されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
引用特許：
審査官引用 (4件)
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