特許
J-GLOBAL ID：200903017771294753
マイクロ波プラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-100144
公開番号（公開出願番号）：特開平8-096991
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 マイクロ波プラズマ発生装置において、プラズマ発生室内に放電開始補助体を配置して放電の開始を容易にすることを目的とする。【構成】 空胴共振器にアイソレータと自動整合器を設け、マイクロ波発生装置で発生させたマイクロ波を、導波管回路を通じてプラズマ発生室に供給してプラズマを発生させるマイクロ波プラズマ発生装置において、プラズマ発生室内のマイクロ波の電圧定在波の山に相当する位置に配置した放電開始補助手段を備えたマイクロ波プラズマ発生装置に関する。
請求項（抜粋）：
マイクロ波発生装置で発生させたマイクロ波を、導波管回路を通じてプラズマ発生室に供給してプラズマを発生させるマイクロ波プラズマ発生装置において、プラズマ発生室内のマイクロ波電圧定在波の山に相当する位置に配置した放電開始補助体を備えたマイクロ波プラズマ発生装置。
IPC (4件)：
H05H 1/46
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
