特許

J-GLOBAL ID：200903017839668550

耐プラズマ性部材、その製造方法、及び半導体製造装置

発明者： 鈴木 俊一 ,  露木 龍也
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 松山 允之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-344044
公開番号（公開出願番号）：特開2003-146755
出願日： 2001年11月09日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 プラズマや腐食性ガスに対する耐食性に優れ、低發塵性で、プラズマ処理装置の構成部材に適する耐プラズマ性部材、その製造方法、及び半導体製造装置の提供。【解決手段】 耐プラズマ性部材の発明は、フッ化イットリウム焼結体であって、相対密度95%以上で、かつ三点曲げ強さが150MPa以上の特性を有することを特徴とする。また、製造方法の発明は、粒径20μm以下のフッ化イットリウム粉末を素材とする成形体を作製する工程と、前記成形体を非酸化性雰囲気中、600〜1000°Cの温度で、加圧焼成する工程とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

フッ化イットリウム焼結体であって、相対密度95%以上で、かつ三点曲げ強さが150MPa以上の特性を有することを特徴とする耐プラズマ性部材。

IPC (3件)：

C04B 35/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

C04B 35/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

Fターム (8件)：

5F004AA13 ,  5F004BA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB07 ,  5F004BB13 ,  5F004BB18 ,  5F004BB29 ,  5F045EB03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 耐食性部材およびその製造方法、並びにそれを用いたプラズマ処理装置用部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-043860   出願人：京セラ株式会社
• 耐蝕性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-018471   出願人：太平洋セメント株式会社