特許

J-GLOBAL ID：200903010428553919

耐蝕性部材

発明者： 原田 保 ,  白川 洋一 ,  指田 則和 ,  宮田 昇
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-018471
公開番号（公開出願番号）：特開2000-219574
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】 腐蝕ガスあるいはそれらのプラズマに対して、高い耐蝕性が有し、緻密で気孔の少ない弗化物セラミックスからなる耐蝕性部材を提供すること。【解決手段】 腐蝕ガスあるいはそれらのプラズマの雰囲気で用いられる耐蝕性部材であって、少なくとも腐蝕ガスあるいはそれらのプラズマに露呈される部位が、気孔率が2%以下である緻密質の弗化物セラミックスによって構成される。

請求項（抜粋）：

腐蝕ガスあるいはそれらのプラズマの雰囲気で用いられる耐蝕性部材であって、少なくとも腐蝕ガスあるいはそれらのプラズマに露呈される部位が、気孔率が2%以下である緻密質の弗化物セラミックスによって構成されることを特徴とする耐蝕性部材。

IPC (3件)：

C04B 35/553 ,  C04B 41/87 ,  C23C 14/06

FI (5件)：

C04B 35/00 U ,  C04B 41/87 D ,  C04B 41/87 F ,  C04B 41/87 J ,  C23C 14/06 G

Fターム (17件)：

4G030AA58 ,  4G030AA59 ,  4G030BA33 ,  4G030CA08 ,  4G030GA04 ,  4G030GA11 ,  4G030GA22 ,  4G030GA26 ,  4G030GA27 ,  4G030GA29 ,  4K029AA04 ,  4K029AA24 ,  4K029BA42 ,  4K029BC01 ,  4K029BD01 ,  4K029CA00 ,  4K029CA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 高密度フッ化アルミニウム焼結体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-248698   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 半導体製造用耐食性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-155798   出願人：京セラ株式会社
• プラズマ処理反応器内の導電性の面を保護するための方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-008690   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

引用文献：

審査官引用 (1件)

• 高密度MgF2焼結体の作製と特性評価