特許
J-GLOBAL ID:200903017850842146
液体吐出ヘッド、液体吐出装置および液体吐出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
荒船 博司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-379279
公開番号(公開出願番号):特開2006-181926
出願日: 2004年12月28日
公開日(公表日): 2006年07月13日
要約:
【課題】電界アシスト法を用い、吐出面がフラットで、かつ低電圧の静電電圧の印加で効果的に電界集中を生じ効率良く液体を吐出することができ、微細パターン形成および高粘度の液体の吐出が可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置および液体吐出方法を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッド2は、ノズル10と、体積抵抗率が1015Ωm以上でフラットなノズルプレート11と、液体Lを貯蔵するキャビティ21と、ノズル10内の液体Lを加圧して吐出孔13にメニスカスを形成する圧力発生手段23と、ノズル10とキャビティ21内の液体Lと基材間に静電電圧を印加する静電電圧印加手段19と、静電電圧印加手段18による静電電圧の印加および圧力発生手段23を駆動する駆動電圧の印加を制御する動作制御手段25とを備え、ノズル10の内周面16に、ノズル内の液体Lがノズルプレート11に吸収されることを防止する液体吸収防止層17が形成されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
液体を吐出するノズルと、
体積抵抗率が1015Ωm以上でフラットなノズルプレートと、
前記ノズルの吐出孔から吐出される液体を貯蔵するキャビティと、
前記ノズル内の液体に圧力を発生させて前記ノズルの吐出孔に液体のメニスカスを形成する圧力発生手段と、
前記ノズルおよび前記キャビティ内の液体と基材間に静電電圧を印加して静電吸引力を発生させる静電電圧印加手段と、
前記静電電圧印加手段による前記静電電圧の印加および前記圧力発生手段を駆動する駆動電圧の印加を制御する動作制御手段と
を備え、
前記ノズルの内周面に、前記ノズル内の液体が前記ノズルプレートに吸収されることを防止する液体吸収防止層が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
IPC (4件):
B41J 2/135
, B41J 2/06
, B41J 2/045
, B41J 2/055
FI (3件):
B41J3/04 103N
, B41J3/04 103G
, B41J3/04 103A
Fターム (16件):
2C057AF41
, 2C057AF55
, 2C057AF93
, 2C057AG04
, 2C057AG07
, 2C057AG93
, 2C057AH07
, 2C057AN01
, 2C057AN05
, 2C057AP13
, 2C057AP31
, 2C057AP58
, 2C057AP60
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 2C057BD05
引用特許:
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