シ-ト状物の連続プラズマ表面処理方法及び装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005741
公開番号（公開出願番号）：特開2000-204179
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：

【要約】【目的】局所的なアーク放電を起こすことなく、放電領域全体で均一でしかも安定なプラズマ領域を形成し、柔軟性を有するシート状基材の大気圧下でのプラズマ表面処理を、連続的に安定して行なうことができる方法を提供すること。【構成】概ね大気圧下で対向電極間に交流電界を印加して放電プラズマを発生させ、該対向電極間にシート状物を連続的に供給移動させることによって該シート状物を表面処理する連続プラズマ処理方法であって、前記対向電極が凸曲面を有する電極と、該凸曲面を有する電極と一定の間隔を以て対向する凹曲面を有する電極から構成されるものであり、しかもシート状物を凸曲面を有する電極に密着させつつ移動させるとともに、凹曲面を有する電極に設けられた複数の通気孔からプラズマ表面処理のためのガスを導入することを特徴とするシート状物の連続プラズマ処理方法。

請求項（抜粋）：

概ね大気圧下で対向電極間に交流電界を印加して放電プラズマを発生させ、該対向電極間にシート状物を連続的に供給移動させることによって該シート状物を表面処理する連続プラズマ処理方法であって、前記対向電極が凸曲面を有する電極と、該凸曲面を有する電極と一定の間隔を以て対向する凹曲面を有する電極から構成されるものであり、しかもシート状物を凸曲面を有する電極に密着させつつ移動させるとともに、凹曲面を有する電極に設けられた複数の通気孔からプラズマ表面処理のためのガスを導入することを特徴とするシート状物の連続プラズマ処理方法。

IPC (3件)：

C08J 7/00 306 , B01J 19/08 , C23C 14/56

FI (3件)：

C08J 7/00 306 , B01J 19/08 E , C23C 14/56 A

Fターム (24件)：

4F073AA01 , 4F073BA07 , 4F073BB01 , 4F073CA07 , 4F073CA14 , 4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075CA02 , 4G075CA47 , 4G075CA51 , 4G075CA63 , 4G075EC21 , 4G075ED04 , 4G075ED11 , 4G075FB02 , 4G075FB04 , 4G075FB06 , 4G075FB12 , 4G075FC15 , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029DA05 , 4K029FA05 , 4K029JA10

引用特許：

審査官引用 (3件)

ポリマー支持体の処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-027724 出願人：イーストマンコダックカンパニー
支持体の表面処理方法、支持体の表面処理装置及び塗布方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-094468 出願人：コニカ株式会社
プラズマ表面処理方法及びプラスチック表面処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-023978 出願人：積水化学工業株式会社

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