特許
J-GLOBAL ID：200903017893264111
圧電デバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-309935
公開番号（公開出願番号）：特開2008-131059
出願日： 2006年11月16日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】パッケージ内に圧電振動片を片持ち式に接合する圧電デバイスにおいて、圧電振動片の接合角度を確実に一定に揃えることを可能として、発振の不良を防止し、周波数調整が適切にされるようにした圧電デバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】製造方法におけるマウント工程で、前記パッケージ37側に熱硬化性の接着剤43,43を塗布し、そのひとつの端部32aとは反対の端部32bを前記塗布された該接着剤の上に載置し、上方から磁界を作用させる治具20を前記圧電振動片32の上に配置して、該治具の磁界を前記圧電振動片の前記磁性金属に作用させて、前記ひとつの端部が上を向く傾斜状態とし、該傾斜状態を保持して前記硬化工程を行う。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
パッケージ内に圧電振動片を収容して、該パッケージを蓋体により気密に封止した圧電デバイスの製造方法であって、
前記パッケージ、前記圧電振動片、前記蓋体を個々に形成する前工程と、
前記パッケージ内部に接着剤を塗布して、その上に前記圧電振動片を載置し、前記接着剤を硬化させる硬化工程を経ることにより前記圧電振動片を前記パッケージに対して接合するマウント工程と、
前記パッケージを前記蓋体で気密に封止する封止工程と
を含んでおり、
前記前工程では、ひとつの端部に予め磁性金属を配置した圧電振動片を形成し、
前記マウント工程では、前記パッケージ側に接着剤を塗布し、前記ひとつの端部とは反対の端部を前記塗布された該接着剤の上に載置し、
上方から磁界を作用させる治具を前記圧電振動片の上に配置して、該治具の磁界を前記圧電振動片の前記磁性金属に作用させて、前記圧電振動片の前記ひとつの端部が前記パッケージの内側底面に当接しない程度に、該ひとつの端部がほぼ水平ないし上を向く傾斜状態とし、
該傾斜状態を保持して前記硬化工程を行う
ことを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
IPC (6件)：
H03H 3/02
, H03H 9/02
, H03H 9/54
, H03H 9/10
, H01L 41/22
, H01L 41/18
H03H3/02 Z
, H03H9/02 F
, H03H9/54 Z
, H03H9/10
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101A
5J108AA07
, 5J108BB02
, 5J108BB08
, 5J108CC02
, 5J108CC03
, 5J108CC04
, 5J108CC05
, 5J108CC06
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE18
, 5J108FF14
, 5J108GG03
, 5J108GG13
, 5J108GG16
, 5J108GG17
, 5J108KK03
