特許
J-GLOBAL ID：200903017905777926
カラーフィルタの製造方法およびアライメントマーク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-012546
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211908
出願日： 1998年01月26日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 赤色アライメント光を使用する際に青色レジスト下において高いコントラストを得る。【解決手段】 下地アライメントマーク22を用いた露光アライメントを行って、赤色フィルタ24と赤色アライメントマーク25を同時に形成する。青色フィルタ27形成時には、赤色アライメントマーク25を用いた赤色アライメント光28による露光アライメントを行って青色レジスト26にフィルタパターンを形成する。こうして、青色フィルタ27形成時には、赤色のアライメント光を吸収しない赤色アライメントマーク25を用いることによって、赤色アライメントマーク25に関する反射光R1,R1'の光量を大きくする。その結果、青色フィルタ27形成時に高いコントラストを得ることができる。
請求項（抜粋）：
複数種類のカラーフィルタを着色レジストからホトリソグラフィ技術によって形成するカラーフィルタの製造方法において、上記着色レジストのうちで露光アライメント用の光の透過率が最も低い特定色の着色レジストを選出し、この選出された特定色とは異なる色のアライメントマークを形成し、その後、上記アライメントマークに対する露光アライメントを行って上記カラーフィルタを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, G03F 7/26 501
, G03F 9/00
G02B 5/20 101
, G03F 7/26 501
, G03F 9/00 Z
