特許

J-GLOBAL ID：200903017908734683

気密チャンバにおける接続ラインの貫通構造およびこれを備えた吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機EL装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、PDP装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ELの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法

発明者： 高野 豊 ,  中村 真一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 落合 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-072676
公開番号（公開出願番号）：特開2003-266007
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2003年09月24日
要約：

【要約】【課題】 気密チャンバの壁体とこれを貫通する接続ラインとの間を確実にシールすることができる気密チャンバにおける接続ラインの貫通構造およびこれを備えた吐出装置等を提供することを課題とする。【解決手段】 気密チャンバ31に収容したワーク処理装置2とその付帯装置4とを結ぶ接続ライン6を、気密チャンバ31の壁体33を貫通させる接続ライン6の貫通構造において、内部に接続ライン6が挿通すると共に壁体33を貫通する貫通スリーブ61と、貫通スリーブ61の内部に充填され貫通スリーブ61と接続ライン6との間をシールする第1シール材63と、貫通スリーブ61と壁体33との間をシールする第2シール材64とを備えたものである。

請求項（抜粋）：

気密チャンバに収容したワーク処理装置とその付帯装置とを結ぶ配管および/または配線から成る接続ラインの、前記気密チャンバの壁体を貫通する気密チャンバにおける接続ラインの貫通構造において、内部に接続ラインが挿通すると共に前記壁体を貫通する貫通スリーブと、前記貫通スリーブの内部に充填され前記貫通スリーブと前記接続ラインとの間をシールする第1シール材と、前記貫通スリーブと前記壁体との間をシールする第2シール材とを備えたことを特徴とする気密チャンバにおける接続ラインの貫通構造。

IPC (15件)：

B05C 15/00 ,  B05C 5/00 101 ,  F16J 12/00 ,  F16J 15/10 ,  F16L 5/00 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/02 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G09F 9/00 338 ,  H01J 9/227 ,  H01J 11/02 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (16件)：

B05C 15/00 ,  B05C 5/00 101 ,  F16J 12/00 D ,  F16J 15/10 L ,  F16L 5/00 Q ,  G02B 3/00 A ,  G02B 5/02 B ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G09F 9/00 338 ,  H01J 9/227 E ,  H01J 9/227 Z ,  H01J 11/02 B ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

Fターム (55件)：

2H042BA02 ,  2H042BA15 ,  2H042BA20 ,  2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA55 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB41 ,  2H048BB42 ,  2H088FA18 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088HA12 ,  2H088MA20 ,  2H091FA02Y ,  2H091FC01 ,  2H091FC29 ,  2H091FD04 ,  2H091LA12 ,  3J040BA04 ,  3J040EA16 ,  3J040FA05 ,  3J040HA15 ,  3J046AA07 ,  3J046BC05 ,  3J046BD06 ,  3J046DA03 ,  3J046DA04 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB02 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042DE01 ,  4F042DE03 ,  4F042DE06 ,  5C028FF16 ,  5C028HH04 ,  5C028HH14 ,  5C040FA10 ,  5C040GG09 ,  5C040JA13 ,  5C040MA26 ,  5G435AA17 ,  5G435KK05 ,  5G435KK07 ,  5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• パイプホルダ及びレンチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-243666   出願人：株式会社水研
• フィルター製造装置とフィルター製造装置におけるインク重量測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-051092   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 浴槽配管接続装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-238566   出願人：株式会社山本