特許
J-GLOBAL ID：200903017910476721
ウエハの加工方法及び平面研削盤及びワーク支持部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新井 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-185825
公開番号（公開出願番号）：特開平10-328988
出願日： 1997年06月26日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：
【要約】【課題】 ウエハの両面を同時に研削加工する際ワークを確実に自転させる。【解決手段】 ワーク17(ウエハ)より薄い回転板60の中心にワーク17を嵌め込むワークセット穴60aを設け、ワーク17の結晶方位を示すための欠落部17aに係合するワーク駆動部60bを穴60aの縁に設ける。モータ61のギア62でギア59を回転し回転板60を回転し、ワーク17に回転送りを与え、両面を両頭平面研削盤で研削する。
請求項（抜粋）：
インゴットから切断後のウエハの加工方法において、ウエハを遊嵌し、内周から内部へ向って突設されウエハの切欠部に係合するワーク駆動部を有する貫通穴を有し、ウエハより薄い薄片の回転板と、砥石端面を対向させて砥石端面で研削を行う両頭平面研削盤とを準備して、回転板のワーク駆動部にウエハの切欠部を係合させて前記回転板の穴にウエハを遊嵌した状態で、前記回転板を駆動することによりウエハを回転させると共に前記砥石を回転しウエハの両面に作用させて研削を行うことを特徴とするウエハの加工方法。
引用特許：
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