特許

J-GLOBAL ID：200903017964515609

プラズマ処理装置

発明者： 川上 聡 ,  川村 剛平 ,  石塚 修一 ,  鈴木 朗
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-314070
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148486
出願日： 1994年11月24日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】 成膜の堆積率が良好で、しかもダメージが少なくて製品歩留まりも向上させることができるプラズマ処理装置を提供する。【構成】 被処理体Wを載置するための載置台26を内部に有する真空容器8と、この真空容器内に磁界を印加する磁界印加手段22と、前記真空容器内にプラズマ発生用の高周波を印加するプラズマ発生用高周波供給手段16と、発生したプラズマイオンを吸引するために前記載置台に高周波を印加するプラズマ吸引用高周波供給手段32とを有するプラズマ処理装置において、前記プラズマ吸引用高周波供給手段の周波数を、前記プラズマイオンの振動周波数以下の周波数に設定する。これにより、プラズマイオンをプラズマ吸引用高周波の周波数に追従させて振動させ、成膜の堆積効率等を向上させる。

請求項（抜粋）：

被処理体を載置するための載置台を内部に有する真空容器と、この真空容器内に磁界を印加する磁界印加手段と、前記真空容器内にプラズマ発生用の高周波を印加するプラズマ発生用高周波供給手段と、発生したプラズマイオンを吸引するために前記載置台に高周波を印加するプラズマ吸引用高周波供給手段とを有するプラズマ処理装置において、前記プラズマ吸引用高周波供給手段の周波数を、前記プラズマイオンの振動周波数以下の周波数に設定したことを特徴とするプラズマ処理装置。

IPC (7件)：

H01L 21/316 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/68 ,  H05H 1/46 ,  G01R 33/64

FI (3件)：

H01L 21/302 L ,  H01L 21/302 F ,  G01N 24/14 B

引用特許：

出願人引用 (5件)

• プラズマCVD装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-120396   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭60-091645
  
• 特開昭56-033839
  
• 特開昭63-292625
  
• 特開平4-216628
  

審査官引用 (4件)

• 特開昭56-033839
  
• プラズマCVD装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-120396   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭60-091645
  
• 特開昭56-033839