特許

J-GLOBAL ID：200903017982248863

2軸フラックスゲート型磁気センサ

発明者： 山田 康晴 ,  吉見 健一
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-172356
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023683
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 1つのセンサ素子により2軸方向への磁気を独立的に検出することができ、方位センサ等に適用して、角度誤差が生じず、所要スペースが千種区、かつ、コスト的にも有利な2軸フラックスゲート型磁気センサを提供する。【解決手段】 基板上に、磁性体薄膜からなるループ状コアと、そのループ状コアに巻回された導電体薄膜からなる励振コイルおよび検出コイルが形成されたフラックスゲート型磁気センサにおいて、励振コイル2はループ状コア1に対して一様に巻回するとともに、検出コイルはループ状コア1の1/4周ずつ4つに分割して巻回し、そのうち互いに対向するものどうし(3aと3b,および3cと3d)については、互いに逆向きに巻回して相互に接続した構造とすることで、共通のループ状コア1と共通の励振コイル2によって、実質的に2軸の感度軸を有する薄膜フラックスゲート型磁気センサを得る。

請求項（抜粋）：

基板上に、磁性体薄膜からなるループ状のコアと、そのコアの上下に絶縁層を介して積層された導電体薄膜およびその上下の導電体薄膜のコンタクト部を有して当該コアをループの内外を通りつつ螺旋状に周方向に巻回する励振コイルおよび検出コイルが形成されてなるフラックスゲート型磁気センサにおいて、上記励振コイルは上記ループ状コアに周方向に一様に巻回されているとともに、上記検出コイルは、ループ状コアの1/4周ずつ4つに分割して巻回され、かつ、そのうちの対向する2つの検出コイルどうしが互いに逆向きに巻回されて相互に接続されていることを特徴とする2軸フラックスゲート型磁気センサ。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 磁気センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-332607   出願人：株式会社島津製作所