特許

J-GLOBAL ID：200903017996329904

垂直作動型プローブカード並びにそれに用いるプローブユニット及びプローブユニットの製造方法

発明者： 大久保 昌男 ,  大久保 和正 ,  岩田 浩
出願人/特許権者： 日本電子材料株式会社
代理人 (1件)： 大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-035655
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221374
出願日： 1997年02月03日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【目的】 複数本のプローブを同時に取り付けることができるようにする。【構成】 多数個の測定対象物であるLSIチップ610の電極パッド611に対して垂直に接触させられる複数本のプローブ100及びプローブ100を後端側において連結する絶縁性を有する連結部材150を有するプローブユニットPUと、連結部材150が取り付けられる取付部である溝部211を有する第1の案内部材210と、プローブ100の先端の接触部110が挿入される複数個の貫通孔221が開設された第2の案内部材220とを備え、プローブ100には、電極パッド611に対して垂直方向に加圧接触させられた場合に変形する弾性変形部130が形成されており、弾性変形部130は所定の間隔を有して対向した第1の案内部材210と第2の案内部材220との間に位置しており、プローブ100は第1の案内部材210及び第2の案内部材220により垂直に支持されている。

請求項（抜粋）：

測定対象物の電極パッドに対して垂直に接触させられる複数本のプローブ及びこのプローブを後端側において連結する絶縁性を有する連結部材を有するプローブユニットと、前記連結部材が取り付けられる取付部を有する第1の案内部材と、前記プローブの先端の接触部が挿入される複数個の貫通孔が開設された第2の案内部材とを具備しており、前記プローブには、電極パッドに対して垂直方向に加圧接触させられた場合に変形する弾性変形部が形成されており、当該弾性変形部は所定の間隔を有して対向した第1の案内部材と第2の案内部材との間に位置しており、前記プローブは第1及び第2の案内部材により垂直に支持されていることを特徴とする垂直作動型プローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 垂直作動型プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-294908   出願人：日本電子材料株式会社, 株式会社東芝, 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社
• 特開平1-287484